◆技术参数:
(1)惰性气源: 纯度 ≥99.95%,压力≥ 0.4 MPa(建议使用高压钢瓶气体);
(2)气体流量: 吹扫时,3NL/min,工作时 <50NmL/min;
(3)除气时间 : 首次操作≤2h,日常运行≤30min;
(4)氧气含量 <0.1Vol%,可达0.01%(100ppm,使用高纯气源);
(5)氧气检测 0~5%(精度1%FS,分辨率0.01%),0~1000ppm(精度1%,分辨率1ppm)[可选];
(6)工作压力 5kPa~30kPa(表压),耐压能力0.2MPa(表压);
(7)环境温度 5℃~45℃;
(8)环境湿度 10%~80%。