红星杨科技自平衡HGZQ系列气浮光学平台技术特点

【技术特点】-- 红星杨科技自平衡HGZQ系列气浮光学平台

• 平面度：≤0.05mm/m2

• 表面粗糙度：≤0.8μm

• 固有频率；x方向：1.2Hz～2.0Hz y方向：1.2Hz～2.0Hz

• 振幅：<1.2μm

• 荷载能力：150kg/m2

• 重复定位精度：±0.05mm

【技术特点对用户带来的好处】-- 红星杨科技自平衡HGZQ系列气浮光学平台

【典型应用举例】-- 红星杨科技自平衡HGZQ系列气浮光学平台