【技术特点】-- TMC STACIS III主动隔振系统

zei初被设计用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备的隔振，STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不局限于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。

STACIS III包括一个新型改进的数字控制器----DC - 2020。它的前后面板上有新型双核处理器，以太网和USB串口，这个新型先进控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。

拥有在世界各地的数百个成功安装案例，STACIS对于大部分振动敏感仪器来说都是zei理想的振动消除系统。

【技术特点对用户带来的好处】-- TMC STACIS III主动隔振系统

【典型应用举例】-- TMC STACIS III主动隔振系统