【技术特点】-- 主动隔振平台

主动隔振台
高负载精密研究设备的优秀隔振系统

产品特点 应用
• 主控频率 1Hz - 200Hz • SEM • TEM
• 被动防振频率 >200Hz • UHV-SPM • 光刻
• 5-20毫秒的响应时间 • 光谱测量
• 安装简单,容易使用 • 其他高精密仪器
• 能无故障连续使用多年 • 高精度测量
• 通过LED显示屏控制

【技术特点对用户带来的好处】-- 主动隔振平台

【典型应用举例】-- 主动隔振平台