Jenoptik业纳-F-θ场镜技术特点

【技术特点】-- Jenoptik业纳-F-θ场镜

JENar™ F-theta镜

波长范围	透镜型号	焦距	扫描场对角线	zei大全对角扫描角度	用于2轴扫描的1/e2处的zei大光斑尺寸	在1/e2处的焦点尺寸
[nm]		[mm]	[mm]	[ ° ]	[mm]	[μm]
1030...1080	017700-024-26	100	93	54	10	19
	017700-003-26	125	80	37	15	16
		125	93	43	15	16
	601926 NEW	125	80	37	15	16
	017700-019-26	160	170	60	10	31
	601914	160	170	60	10	31
	017700-018-26	170	170	57	14	24
	017700-017-26	255	239	53	20	24
	601948NEW	255	239	53	20	24
	017700-022-26	347	354	58	16	46
	017700-009-26	350	452	71	15	45
	017700-021-26	420	420	57	15	55
532	017700-209-26	100	90	53	10	10
	017700-202-26	102	75	43	15	7
	017700-203-26	108	75	40	15	7
		108	86	46	15	7
	017700-206-26	170	160	54	14	12
	017700-205-26	255	233	52	20	12
	017700-208-26	330	347	58	16	23
	017700-207-26	420	420	57	15	27
355	017700-401-26	53	24	24	10	3.5

a1建议镜子间距	a2第二个镜子到法兰的距离	远心度(只有 F-Theta | 带扫描仪)	后表面到机械表面的工作距离(包括窗口)	安装螺丝	选配窗口型号
[mm]	[mm]	[°]	[mm]
13	43	8.7 | 9.1	87	M85x1	576230
18	38	4.9 | 5.1	155	M85x1	575267
18	28	7.2 | 7.4	155
18	38	4.9 | 5.1	155	M85x1	602019
13	43	17.1 | 17.2	178	M85x1	576230
13	43	17.1 | 17.2	178	M85x1	576234
17	41	11.6 | 11.7	194	M85x1	575267
25	39	14.3 | 15.0	291	M85x1	575267
25	39	14.3 | 15.0	291	M85x1	602019
17	41	18.7 | 18.7	404	M85x1	575267
23	25	23.7 | 24.0	395	M85x1	610826
17	41	18.7 | 18.8	501	M85x1	575267
13	43	7.7 | 7.8	95	M85x1	576232
18	36	4.1 | 4.9	133	M85x1	576228
16	39	4.9 | 5.1	132	M85x1	599379
16	31	7.1 | 7.3	132
17	41	10.9 | 11.0	195	M85x1	576228
25	39	14.2 | 14.3	294	M85x1	576228
17	41	18.4 | 18.4	384	M85x1	576228
17	41	19.3 | 19.3	485	M85x1	576228
13	46	0.4 | 1.5	65	M85x1	576243

【技术特点对用户带来的好处】-- Jenoptik业纳-F-θ场镜

【典型应用举例】-- Jenoptik业纳-F-θ场镜