KLA-Tencor INM100显微镜_ 参数_指标_优点_优势_分析测试百科网

半自动化的光学检测设备，被广泛应用于检测硅片、光罩、MEMS以及相关产品。采用了高质量的Leica 镜头，配激光自动聚焦系统。