测量厚度zei大到 3 毫米的先进薄膜厚度测量系统
对于大多数的膜厚测试系统来说，当厚度大于 100 微米后都
变得非常困难。那是因为他们是通过反射率振幅干涉的光谱频
率来算薄膜的厚度， 会导致干涉频率超过光谱的分辨率。

为了克服这个问题， F3-XXT 配备 Filmetrics 自主研发的光谱仪， 材
料达到 3 毫米厚度，它可以很好测量。引用特殊的光学配件，
使光斑尺寸不到 25 微米，使得即使是较高粗糙度和不均匀性
的 材 料 都 可 以 测 量 。

几乎所有的半导体和介质材料都可以很好非常迅速的测试，
并且在不到一秒钟的时间就可以将数据输出