Filmetrics 薄膜测厚...

Filmetrics 薄膜测厚仪 F54

参考成交价格: 20~50万元[人民币]
技术特点

【技术特点】-- Filmetrics 薄膜测厚仪 F54

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自动化薄膜厚度分布图案系统
依靠 F54 先进的光谱测量系统,可以很简单快速地获得zei大直径 450 毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用 r-θ 极坐标移动平台,可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度,测试非常快速,大约每秒能测试两点。 系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式,也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。

可测样品膜层
基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括:
相关应用
半导体制造
光刻胶
氧化物/氮化物/SOI 晶圆研磨减薄/封装


液晶显示器
盒厚 聚酰亚胺 ITO

光学镀膜

硬涂层 抗反射涂层 滤光片

微电子
光刻胶 硅膜 氧化铝/氧化锌薄膜滤镜



【技术特点对用户带来的好处】-- Filmetrics 薄膜测厚仪 F54


【典型应用举例】-- Filmetrics 薄膜测厚仪 F54


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