【技术特点】-- MProbe系列薄膜测厚仪

反射光谱干涉法是一种非接触式、无损的、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术。

测量范围: 1 nm - 1 mm

波长范围: 200 nm -8000 nm

光斑尺寸:2mum -3 um

产品特点：

a. zei高的测量精度：0.01nm或0.01%

b. 准确度：1nm或0.2%

c. 稳定性：0.02nm或0.02%

d. 强大的软件材料库，包含500多种材料的光学常数

e. 通过Modbus TCP或OPC协议，与其他设备联用

适用于实时在线测量，多层测量，非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

【技术特点对用户带来的好处】-- MProbe系列薄膜测厚仪

【典型应用举例】-- MProbe系列薄膜测厚仪