柱箱温控指标：

温度范围：室温+5℃~450℃（可使用液氮冷阱至

-80℃或干冰冷阱至-55℃）；温度设定精度：0.1℃；

zei高程序升温速率：120℃/min；程序升温阶数：6阶7平台（可选配无限阶）；降温时间：＜4.0 min（450℃到50℃，室温22℃）。

EPC指标：

控压范围：0~100 psi；

控压精度：0.01 psi；流量设定范围：0~1000  ml/min（He/H2）；

流量设定精度：0.1 ml/min。

检测器指标: