特点:
4个苏玛罐可以被同时清洗,并且清洗时间会被记录
4个管路的清洗温度(气室温度+10℃~150℃)可以被分别控制
为了清洗苏玛罐的内部,真空过程(Max. 5×10-4 torr)和高纯气体进样(10~40psi)会重复进行,之后减压,完成清洗
真空度,降压,重复次数和温度可以通过各自的程序进行控制