设备规格
板层尺寸:
350 mm × 600 mm
板层数目:
5 + 1(辐射层)
板层间距:
70 mm
板层zei低温度:
≤ -50℃ (空载)
冷阱zei低温度:
≤ -80℃ (空载)
系统极限真空度:
≤ 2.5 Pa
□ 基础设施
装机功率:
8 KW (三相)
★ 此为装机功率,并非运行功率。耗电<<8 KWh
风冷面积:
8m2