主要技术参数：

温度范围：-100°C至125°C

加热速度：0.01?30℃

压力范围：40mTorr到大气压力

兼容小瓶：2R（zei多7个小瓶），4R，8R，10R，15R和20R

压力传感器：皮拉尼和电容

温度监控：配有三个热电偶

相机：130万像素