基本技术参数
出水水质:(以纯水/蒸馏水为进水水源时,只有Ⅰ级超纯水)
Ⅲ级纯水:电导率<10μs/cm@25℃;符合中国GB6682-2008的III级水标准和ASTM CAP NCCLS标准;
I级超纯水:比电阻达到18.25MΩ.cm@25℃;符合中国GB6682-2008的I级水标准和ASTM CAP NCCLS标准;
总有机碳<10ppb,微生物<1cfu/ml
热源含量:<0.005EU/ml,微粒(大于0.22μm)含量:<1/ml
吸光度(254nm,1cm光程):≤0.001,可溶性硅[以(SiO2)计]:<0.01ppm
重金属含量(ppm.max):<0.01