1.水源：反渗透水、蒸馏水、去离子水
2.流速：25L/H
3.超纯水水质：18.2MΩ·cm

TOC（ppb） ：< 10                热  源（Eu/ml）：< 0.001

微生物（cfu/ml）：< 1       颗粒物（＞0.22μm/ml）：< 1