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4路质子混气管式PECVD系统
合肥科晶
国产 马弗炉/电阻炉/实验炉
参考成交价格:
10~30万元[人民币]
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参数
指标
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升温速度(达到zei高温)
10℃
内部尺寸
外径: 50 ×内径: 44 ×长: 1000 mm
加热方式
电阻丝
zei大功率
3KW
控温精度
±1℃
zei高温度
1200℃
仪器种类
管式炉
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