炉体结构

双层壳体结构，高精度移动平台

额定温度（℃）

1100

使用温度（℃）

≤1000

温场均匀性（℃）

±3℃

温度状态工艺时间（S）

2~100（100~1000℃）

zei快升温速率（℃/S）

200

降温速率（℃/S）

1~200（通氮气，速率更快）

温度控制模式

智能模糊全闭环PID控制

操作方式

触摸屏控制

超高温状态检测

软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回路

触摸屏尺寸

7“LED

zei大功率（KW）

15

额定电压

AC380~400V，50HZ（60Hz定制）

传感器类型

S型单铂铑

反应腔室内径尺寸

Φ100X200

式样有效空间

4“

真空系统

选配

预留真空抽口

KF16

进出气接口

Φ6卡套

尺寸重量

长1000×深600×高600mm；净重：约50kg