型号
容量
kg
zei高工作温度
℃
冷态极限
真空度
Pa
压升率
Pa/h
额定中频功率
kW
额定中频
频率
Hz
中频
电压
V
YVM-010I
10
1700
5×10-3
3
60
1000~4000
250
YVM-025I
25
100
YVM-050I
50
300
YVM-100I
160
注:以上技术参数可根据工艺进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。