控制:通过中央摇杆,动态控制
动力:步进马达
分辨率:约每步40 nm
zei大位移(各轴):约20 mm
放大装置(X-head)
安装角度:0-90 度,相对于载物台
zei大速度:7,500 µm/s
大小(长X 宽X 高):
Y/Z 模块12.0 x 10.0 x 6.8 cm
X 模块12.0 x 6.0 x 5.0 cm
控制面板27.0 x 20.5 x 16.0 cm
重量:
模块单元1.4 kg
带电源的全套控制面板2.7 kg