分子泵 进气法兰

DN 100（ISO-F/ISO-K/CF-F）

分子泵 抽速（N2）

2050 l/s

启动时间

4.0 min

压缩比（N2）

>1x10⁸

冷却方式

水冷

重量

34 kg

分子泵极限真空度

< 1x10^-7 hPa