伯东德国普发分子泵Hipace 300参数指标

参数指标

分子泵型号	接口 DN		抽速 l/s			压缩比	zei高启动压强mbar	极限压力	全转速气体流量hPa l/s	启动时间	重量
分子泵型号	进气口	排气口	氮气 N₂	氦气He	氢气 H₂	氮气 N₂	氮气N₂	hPa	氮气N₂	min	kg
HiPace 300 HiPace 300 C HiPace 300 P HiPace 300 Plus	100	16	260	255	220	> 1X10¹¹	15(控制器TC 110) 20（控制器TC 400）	< 1X10^–7	5（控制器TC 110） 14（控制器TC 400）	3.5(TC 110) 1.8(TC 400)	5.8 – 8.2