伯东公司德国普发Pfeiffer分子泵参数指标

分子泵 进气法兰

DN 63 ISO-K

分子泵 排气法兰

DN 16 ISO-KF

抽速（N2）

64 l/s

启动时间

1.1 min

压缩比（N2）

1x10⁶

冷却方式

风冷、水冷

重量

2.2kg

极限真空度

< 1x10^-6 hPa