技术指标

进气口法兰：DN200 CF DN200 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN40

抽速速率（L/s）：N2：1300 He：1000 H2：480 Ar：1250

压缩比：N2：1E9 He：1E4 H2：1E3 Ar：1E9

极限压强（Pa）：CF：6E-7 ISO-K：6E-6

最大连续前级压强（Pa）：240

最大前级压强（Pa）：N2：600

最大气载量（sccm）：N2：2500 He：1850 H2：1450 Ar：950

额定转速（RPM）：24000

启动时间（min）：≤9

冷却方式：水冷或风冷

冷却水流量（L/min）：≥1

冷却水温度（℃）：≤25

电源电压（V AC）：DC24/AC220

最大功率（W）：≤500

适配电源型号：FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II

建议前级泵（L/s）：15

重量（kg）：33(LF) 35(CF)

尺寸