技术指标

进气口法兰：DN400 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN100 ISO-K

抽速速率（L/s）：N2：4500 He：3200 H2：2000 Ar：4200

压缩比：N2：5E7  He：1E3  H2：5E2  Ar：5E7

极限压强（Pa）：2E-6

最大连续前级压强（Pa）：100

最大前级压强（Pa）：N2：300

最大气载量（sccm）：N2：5500  He：4000  H2：3200  Ar：2100

额定转速（RPM）：15300

启动时间（min）：≤10

冷却方式：水冷

冷却水流量（L/min）：≥1

冷却水温度（℃）：≤25

电源电压（V AC）：DC24/AC220

最大功率（W）：≤1100

适配电源型号：FD-III

建议前级泵（L/s）：30

重量（kg）：118

尺寸