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我要纠错技术指标：
| 进气口法兰 | DN160 CF DN160 ISO-K | 排气口法兰（ISO-KF） | DN40 |
| 抽速速率（L/s） | N2：700 He：580 H2：260 Ar：680 | 压缩比 | N2：1E9 He：1E7 H2：1E6 Ar：1E9 |
| 极限压强（Pa） | CF：6E-8 ISO-K：6E-7 | 最大连续前级压强（Pa） | 300 |
| 最大前级压强（Pa） | N2：550 | 最大气载量（sccm） | N2：1400 He：1000 H2：800 Ar：550 |
| 额定转速（RPM） | 36000 | 启动时间（min） | ≤7 |
| 冷却方式 | 水冷 | 冷却水流量（L/min） | ≥1 |
| 冷却水温度（℃） | ≤25 | 电源电压（VAC） | DC24/AC220 |
| 最大功率（W） | ≤500 | 适配电源型号 | FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II |
| 建议前级泵（L/s） | 4～8 | 重量（kg） | 19（LF） 20.5（CF） |
尺寸
