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技术指标
型号 | FF-63/80型脂润滑复合分子泵 | ||
抽气速率（L/s） | Ar | 62 | |
压缩比 | N2 | ＞1×109 | |
He | ＞2×105 | ||
极限压强（Pa) | LF63（N2） | < 3×10-6 Pa | |
CF63（N2） | < 5×10-7 Pa | ||
排气口法兰 | KF 16（DN） | ||
进气口法兰 | LF 63（DN） | ||
CF 63（DN） | |||
轴承 | 脂润滑陶瓷轴承 | ||
额定转速（rpm） | 51000 | ||
启动时间（min） | 2 | ||
振动（μm） | ≤ 0.05 | ||
噪声（dB(A)） | < 55 | ||
建议前级泵（L/s） | 0.5~ 2 | ||
建议启动压强（N2）（Pa） | < 50 | ||
进气口流量（N2）（sccm） | ≤ 5 | ||
安装方式 | 任意角度 | ||
注油量 | 脂润滑（不需要注油） | ||
烘烤温度（℃） | ≤ 100 | ||
冷却方式（℃） | 风冷 | 5 ~ 32 | |
水冷 | 5 ~ 40 | ||
冷却水 | 温度（℃） | 10 ~ 25 | |
压力（MPa） | 0.15 | ||
流量（L/min） | 1 | ||
水嘴 | 内径Φ10直插自密封 | ||
重量（kg） | LF63 | 3.5 | |
CF63 | 4.8 | ||