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技术指标：
| 进气口法兰 | DN100 CF DN100 ISO-K | 排气口法兰（ISO-KF） | DN25 |
| 抽速速率（L/s） | N2：295 He：250 H2：200 Ar：305 | 压缩比 | N2：1E9 He：1E6 H2：1E5 Ar：1E9 |
| 极限压强（Pa） | CF：5E-7 ISO-K：2.5E-6 | 最大连续前级压强（Pa） | 500 |
| 最大前级压强（Pa） | N2：700 | 最大气载量（sccm） | N2：120 He：50 |
| 额定转速（RPM） | 51000 | 启动时间（min） | ≤4 |
| 冷却方式 | 水冷或风冷 | 冷却水流量（L/min） | 1 |
| 冷却水温度（℃） | ≤25 | 电源电压（VAC） | DC24/AC220 |
| 最大功率（W） | 220 | 适配电源型号 | TD-300/TCP-240/TC-100 |
| 建议前级泵（L/s） | 1～3 | 重量（kg） | 8.5（ISO-K） 11（CF） |
尺寸
