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我要纠错技术指标：
| 进气口法兰 | DN100 CF DN100 ISO-K | 排气口法兰（ISO-KF） | DN25 |
| 抽速速率（L/s） | N2：110 He：100 H2：50 Ar：100 | 压缩比 | N2：1E8 He：1E2 H2：1E2 Ar：1E8 |
| 极限压强（Pa） | CF：6E-7 ISO-K：6E-6 | 最大连续前级压强（Pa） | 200 |
| 最大前级压强（Pa） | N2：300 | 最大气载量（sccm） | N2：300 He：240 H2：180 Ar：110 |
| 额定转速（RPM） | 42300 | 启动时间（min） | ≤3 |
| 冷却方式 | 水冷或风冷（环境温度5-32℃时可风冷） | 冷却水流量（L/min） | ≥1 |
| 冷却水温度（℃） | ≤25 | 电源电压（VAC） | 220±22 |
| 最大功率（W） | ≤300 | 适配电源型号 | FD-110A |
| 建议前级泵（L/s） | 2 | 重量（kg） | 8 |
尺寸：
参考成交价格：