分析仪器
射束线和高能物理
涡轮分子泵的前级泵
超高速离心机
镀膜
低温技术
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
凝胶体干燥
实验台真空
氦质谱检漏仪
装载和传输腔
稀有气体再循环
稀有气体回收
冷冻制造
研发
旋转蒸发仪
溶剂回收
表面科学仪器
电子扫描显微镜—SEM
脱气/硫化—油、环氧树脂
激光、气体回收和再循环
EM/FIB(离子束维修)
性能特点
真空外壳中不使用任何润滑剂,完全密封可保证整体清洁和干燥真空,防止交叉污染
无大气压到真空轴封,使得轴承完全隔离,从而防止过程气体腐蚀,同时也使轴承运行温度更低,寿命更长
无需换油,节省处置污染泵油所需的费用
简单的单侧涡旋设计,使得维护工作可在数分钟内完成,达到降低运行成本和延长工作时间的目的
变换驱动可使抽速稳定维持在50/60Hz