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技术数据
入口法兰尺寸 | VG200/VG250 | VG150 |
ISO200F/ISO250F | ISO160F | |
ICF253/ICF305 | ICF203 | |
前级抽气口尺寸 | KF40 | KF40 |
抽速 | ||
N2 | 1600 ls-1 | 900 ls-1 |
H2 | 1200 ls-1 | 600 ls-1 |
压缩比 | ||
N2 | >108 | >108 |
H2 | 1 x 103 | 1 x 103 |
极限压力 | 10-7Pa (10-9Torr) | 10-7Pa (10-9Torr) |
允许的前级压力 | 266 Pa (2 Torr) | 266 Pa (2 Torr) |
zei大气流N2（仅水冷） | 4700 sccm | 4700 sccm |
(7.94 Pam3s-1) | (7.94 Pam3s-1) | |
zei大气流Ar（仅水冷） | 1800 sccm | 1800 sccm |
(3.04 Pam3s-1) | (3.04 Pam3s-1) | |
额定速度 | 36,500 rpm | 36,500 rpm |
启动时间 | 8 min | 8 min |
固定位置 | 任何方向 | 任何方向 |
输入电压 | 200至240 (± 10) V交流 | 200至240 (± 10) V交流 |
zei大输入功率 | 750 VA | 750 VA |
重量 | 48 kg | 48 kg |