产品型号

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带?6mm双卡套接头）及减压阀。

4、工作台：落地式，占地面积2m²以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内。

2、采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。

3、真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，方便快速取放样品，提高效率）、1个CF150闸板 阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、5个CF35法兰（1个安装电离规，4个备用，便于,安装其他设备）。

4、在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。

5、4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板，有效地避免蒸发时相互污染。

6、样品台安装在腔体的顶部。

7、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，精度为10?。

8、可使用循环水冷机。