【技术特点】-- NTE-3000 热蒸镀系统

NTE-3000热蒸发系统产品特点：

• zei大可支持7”的方片或200mm的晶圆片

• 沉积速度可控

• 旋转的样品台

• 双坩埚

• 2KVA SRC控制电源

• 晶振式膜厚监控仪

• 通过LabView软件实现PC计算机控制

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NTE-3000热蒸发系统相似产品型号：

• NTE-4000 基于PC计算机全自动控制的独立系统

• NTE-3500 基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立系统

• NTE-3000 基于PC计算机全自动控制的双蒸发源台式系统

• NTE-1000 计算机控制的单蒸发源台式系统

【技术特点对用户带来的好处】-- NTE-3000 热蒸镀系统

【典型应用举例】-- NTE-3000 热蒸镀系统