可安装在手套箱内的模块化系统 • 整体手套箱压力监测 • 金属溅射、碳蒸发 – 或二者兼有 • 触摸屏控制模块置于手套箱外部操作 • 镀膜颗粒精细 • 高真空涡轮分子泵抽真空 • 可选通过膜厚监控仪实现厚度控制