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产品型号：PECVD PlasmaPro 100 Sapphire
品牌：牛津仪器
产品产地：英国
产品类型：进口
原制造商：牛津仪器
状态： 在售
厂商指导价格：
未提供
英文名称：PECVD PlasmaPro 100 Sapphire PlasmaPro 100 Etch & Deposition Tool
上市时间：
2013-07-04
优点： 该设备是一个灵活和功能强大的等离子体刻蚀和淀积工艺设备。 采用真空进样室进样可进行快速的晶片更换、采用多种工艺气体并扩大了允许的温度范围。
参考成交价格：
50~80万元[人民币] 查中标价
1540
