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技术规格：
| 技术参数 | 氮气/零级氮气模块 | 氢气模块 | 零级空气模块 |
| 流量 | 600/1000cc/min | 300/400/500cc/min | 4000/8000cc/min |
| 压力 | 0-100 psi | 0-100 psi | 0-100 psi |
| 气体指标 | 99.9995%* | ＞99.99999% | 烃类含量<0.05ppm |
| 控制面板 | 人机信息交互界面实时监测系统运行状态及预警信息压力和自动关机保护功能 | ||
*零级氮气模块烃类含量＜0.05ppm
集成供气系统技术规格:
技术参数 | 氮气发生器 | 氢气发生器 | 零级空气发生器 | 无油空压机 |
流量 | 0.6-1L/min | 300-1000cc/min | 4-24L/min | 支持多个模块 |
压力 | 0-100 psi | 0-100 psi | 0-100 psi | 0-100 psi |
气体指标 | 99.999% | 99.9995% | 烃类含量0.05ppm | 颗粒物≤0.01microns |
尺寸 | 43Hx40Wx40D | 43H×40W×40D | 43Hx40Wx40D | 43Hx40Wx40D |
重量 | 30kg | 23kg | 40kg | 30kg |
参考成交价格：