SEM-FIB电镜腔体远程等离子清洗 RPS50技术特点

【技术特点】-- SEM-FIB电镜腔体远程等离子清洗 RPS50

RPS50 SEM扫描电镜清洗仪适用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化 合物的清洗。采用远程ICP 射频离子源清洗，高效、低等离子体轰 击损伤。核心部件采用国际一流品牌，保证设备具有优异的质量 与稳定可靠性。 标配一路清洗气体流量控制器。触摸屏控制，即插即用。

【技术特点对用户带来的好处】-- SEM-FIB电镜腔体远程等离子清洗 RPS50

【典型应用举例】-- SEM-FIB电镜腔体远程等离子清洗 RPS50