Nanofab纳米材料加工生长工具技术特点

【技术特点】-- Nanofab纳米材料加工生长工具

用于生长1D/2D 纳米材料和异质结构的 CVD/PECVD 工具。Nanofab 通过原位催化剂活化和严格的工艺控制, 实现了纳米材料的高性能增长。

出色的均匀性, 可在高达1200°C 的灵活温度下使用

700°C、800°C 或1200°C 表的选项

样品尺寸高达200毫米

真空负载锁. 快速样品交换

基于淋浴头的均匀前体输送冷墙设计

可选的液体固体源输送系统, 用于 MoS2,MoSe2 和其它 TMDCs 的生长

【技术特点对用户带来的好处】-- Nanofab纳米材料加工生长工具

【典型应用举例】-- Nanofab纳米材料加工生长工具