牛津仪器EBSD探测器NordlysMax2技术特点

【技术特点】-- 牛津仪器EBSD探测器NordlysMax2

NordlysNano EBSD探测器以高空间分辨率及角分辨率著称。更加适合纳米尺度特征的检测：对菊池花样的细微变化更加灵敏，实现较小的光学畸变及更佳的分辨率。

综述

• 有效区分晶格参数非常接近的晶体

• CCD分辨率达到1344 x 1024

• 0.5nA的束流下进行正常数据采集

NordlysNano特点：

AZtec及NordlysNano系统配合更加热门的纳米材料研究的需要。菊池花样灵敏性好，光学畸变小，分辨率高。

• 低束流及低kV下同时采集及标定花样

• 在尽可能快的速度下灵敏度高——数据采集所需的时间及束流降到更低

NordlysNano更大限度的提高了空间分辨率

• 专为低kV采集设计，保证更高空间分辨率的纳米材料EBSD分析

• 有效低束流工作，仅需100pA即可进行数据采集，很适合配备于：

• 钨灯丝或LaB6 SEM 完成高空间分辨率模式

• 冷场FE SEM

• 低束流下热场SEM

NordlysNano保证获得高质量EBSD花样

NordlysNano凭完整的1344 x 1024 CCD获得更高的分辨率。获得更高分辨率的花样是某些特殊研究的基础：

• 难标定、低对称性样品，更高分辨率的花样是准确相鉴定的要求

• 互相关技术（cross-correlation techniques）对特殊分析要求非常必要，如：弹性应变分析

• 准确测量准晶以及c/a低至2%的材料

NordlysNano探测器总览：

每款Nordlys探测器均体现了领先地位的EBSD性能，覆盖各应用领域

两者皆体现出：

优化的光学设计

能够清晰判断菊池带的边界在准确确认相的时候非常关键。传统圆形的磷光屏或过大（橘色）或过小（白色）。

• 矩形磷光屏可zei大可能发挥CCD的效用

• 低对称性难标定材料的理想选择

优化的几何条件保证专业条件下，同步采集EDS及EBSD

锥形前端的EBSD探测器，保证更加接近样品，获得更多样品信息：

• 提高信号量

• 实现更小的工作距离下采集

出色的灵敏度

Nordlys探测器在很宽的加速电压及束流变化下皆可实现采集：

• 低kV及小束流下，空间分辨率更高

• 更低的束流下，检测导电性较差的样品

• 更高的角分辨率：小于0.1度

取向衬度图

前置背散射探测（FSD）系统，在磷光屏周围zei多可以配置6个独立的晶体

• 前置背散射探头的控制完全在AZtec界面上完成

• AZtec包括自动优化设计，获得取向衬度图或Z衬度图

• 该设计使图像采集包含灵活性以及多样性

【技术特点对用户带来的好处】-- 牛津仪器EBSD探测器NordlysMax2

【典型应用举例】-- 牛津仪器EBSD探测器NordlysMax2