Gatan SOLARUS (950)Plasma Cleaning System等离子清洗仪参数指标

产品主要技术参数：
射频源:  50瓦的射频电源，具有功率自动匹配功能
真空系统：70升/秒的分子泵搭配两级隔膜泵
气压： 5E-6 Torr基本压力，400mTorr工作压力 
真空规：紧凑的皮拉尼规
舱室
两个前置接口能装载TEM适配器，用于装载侧插TEM样品杆和SEM样品杆
顶部入口用于放入SEM样品台，显微镜镜筒部件或者各种真空件
       舱室尺寸为3.5”直径 x 2.0” 深度
前置观察窗能观察工作时的等离子体发光
内置的电磁阀将舱室与真空泵之间隔离开，抽真空时间不到1分钟，放气时间小于5秒。
气体控制：采用精确的质量流量计来测量及控制气体流量
气体种类：采用三路独立气体（H2，O2和Ar）
清洗配方：提供包含有H2/O2配方等一系列配方，同时支持用户自定义配方
用户界面：采用交互式触摸屏，提供包含有中文、英文等多种语言界面
电源：通用电压/频率100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W