BRIGHT KAS-2000F 离子溅射仪参数指标

以下是KAS-2000F的主要技术参数：

重量：10 Kg

尺寸：420 mm (W)ｘ220 mm (D)ｘ230 mm (H)（长，宽，高）

靶材尺寸：50mm

样品室内径：100mm

靶材类型：Au/Pt（标配Au）

操作真空：0.1 Torr（托）

zei大加速电压：3KV

离子电流: 0 ~ 9 mA