多镀层分析，1～5层

测试精度：0.001 μm

元素分析范围从铝(Al)到铀(U)

测量时间：10~30秒

Si-PIN探测器，能量分辨率为149±10eV（可选配SDD探测器）

微焦X射线管50kV/1mA，钼，铑靶（高配微焦钼靶）

0.2，0.3，0.5mm准直器可选

平台尺寸200×200mm，高度0~150mm，MAX荷载为15公斤

高清CCD摄像头（200万像素），准确监控位置

多变量非线性去卷积曲线拟合

高性能FP/MLSQ分析

仪器尺寸：618×525×490mm