日立高分辨钨灯丝扫描电镜SU3800技术特点

【技术特点】-- 日立高分辨钨灯丝扫描电镜SU3800

①SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察

■样品台可搭载超大/超重样品

• 通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品

• 选配样品交换仓，可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品，大大提高了工作效率

• 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*

• 红外CCD探测器，提高了样品台移动的安全性

■支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察

• 与GUI联合，可配备样品仓室导航相机

• 覆盖整个可观察区域

• 支持360度旋转

②随着各种自动化功能的强化，操作性能得到了进一步优化。

■一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI

■各种自动化功能

• 自动调整算法经改良后，等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

• 提高了自动聚焦精度

• 搭载Intelligent Filament Technology（IFT）

■Multi Zigzag，可实现多区域的大视野观察

■Report Creator，可利用获得的数据批量生成数据报告

③可提供满足测试需求的应用解决方案

■可满足多种观察需求的探测器

• 搭载高灵敏度UVD*，支持CL观察

• 高灵敏度半导体式背散射电子探测器，切换成分/凹凸等多种图像

■配备了多功能超大样品仓，可以搭载多种配件

>■SEM/EDS一体化功能*

■三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*

■支持图像测量软件Image pro

*配件

上市时间：2019年4月
此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最大直径300mm *1、最大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。 　　

同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。 　　

前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。

1) 支持超大/超重样品测试

　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍^*2)的样品

　　(2) 支持大视野观察

　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm

　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野

　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像

　　(3) 通过自动化功能提高操作性能

　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型^*4缩短了三分之一以下

　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝^*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

【技术特点对用户带来的好处】-- 日立高分辨钨灯丝扫描电镜SU3800

【典型应用举例】-- 日立高分辨钨灯丝扫描电镜SU3800