【技术特点】-- 天美等离子样品清洗设备Evactron E50

清洗效率高（射频功率50W）

等离子体和紫外线双重清洗

高真空模式下运行，真空范围大

无损清洗

无需特殊气源

兼容SEM、FIB等设备

【技术特点对用户带来的好处】-- 天美等离子样品清洗设备Evactron E50

【典型应用举例】-- 天美等离子样品清洗设备Evactron E50