主要特点:
1. 体积小、操作简单、性能强(4nm@20kV)、扩展功能丰富
2. 拥有多个探测器(SE、BSE)
3. 拥有低真空功能,不导电和含水样品直接观察
4. 标配五轴样品台(三轴马达)
5. 可选可变压力探测器UVD,实现高真空光信号(如CL)观察
6. 可选SEM-MAP光镜导航功能
7. 报告导出功能