光致荧光光谱测量是半导体材料特性表征的一个被普遍认可的重要测量手段。MiniPL为模块化设计、计算机自动控制的高灵敏度、宽带隙小型PL（光致荧光）光谱仪；MiniPL采用Photon Systems公司自行研发的深紫外激光器224nm(5.5eV)或248.6nm(5eV)作为激发光源，配合独特的光路设计，采用高灵敏度PMT作为探测器件，并通过仪器内置的门闸积分平均器（Boxcar）进行数据处理，实现微弱脉冲信号的检测。

型号规格描述MiniPL 5.0eVNeCu激光器(248.6nm),三维手动调节样品台，单光栅1200g/mm, PMT （190~650nm)，驱动及软件；MiniPL 5.5eVHeAg激光器(224.0nm) ,三维手动调节样品台，单光栅1200g/mm, PMT （190~650nm)，驱动及软件；升级选项光电倍增管选项升级为190-850nm光栅选项增加第二块光栅（3600g/mm）Mapping功能选项升级为X-Y自动扫描样品台低温制冷选项4K，6.5K，10K低温制冷样品室，低震动设计，振幅小于5nm（选配低温选项时不能同时进行Mapping测量）