气体质量流量控制器(...
参数指标我要纠错



S48 28/HMT 安装尺寸图:

 

项目 S48 28/HMT 1 流量规格  (100,150,200)L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭 4 安装角度 任意 5 流量控制范围 5%~100% 6 流量测量范围 0~100% 7 响应时间 2s(T98,设定值的±2% F.S.) 8 工作环境温度 5℃~50℃ 9 精度保证温度 15℃~35℃ 10 精度 ±1.0%F.S. 11 线性精度 ±0.5%F.S. 12 重复性 ±0.2%F.S. 13 工作压差 (100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa 14 耐压 3MPa 15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s (He) 16 接触气体材料 316L,PTFE,Viton氟橡胶 17 管路接头 Swagelok:3/8″ Φ10  VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″ 18 供电电源 ±15VDC(±5%)  
+15V,<100mA;-15V,<200mA +24VDC(宽电压+11~+25V),
<350mA(+24VDC供电时) 19 设定信号 (0~5)VDC 输入阻抗>1MΩ 4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V) 20 流量输出信号 (0~5)VDC 负载能力≤3mA
21 电气接头 D-SUB15,D-SUB9 22 重量(kg) 2.8


相关流量计/流速仪/测漏仪