气体质量流量控制器（流量计）参数指标

S48 300/HMT安装尺寸图：

 

项目 S48 300/HMT 1 流量规格  (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min；
（1,2,3,,5,10，20,30,50）L/min 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭 4 安装角度 任意 5 流量控制范围 2%～100% 6 准确度 ±1.0% S.P.(≥30% F.S.)
±0.30% F.S.(<30% F.S.) 7 线性 ±0.5% F.S. 8 重复精度 ±0.2% F.S. 9 响应时间  ≤1s 10 工作压差范围 （0.05～0.3）MPa(<10L/min):
（0.1～0.3）MPa(10～50)L/min；
 (0.15～0.3)MPa 50L/min
                 11 耐压  ±3MPa 12 工作环境温度 55℃～50℃ 13 精度保证温度 15℃～35℃ 14 接触气体材料 316L,PTFE,Viton或其他 15 漏率<1×10-8 Pa•m3/s  16 接头 Swagelok:Φ6mm,1/4″ 
VCR:1/4″或其他 17 输入信号  数字：RS232/RS485
 模拟：（0～+5.00）V，输入阻抗>100KΩ

VCR:1/4″3/8″ 18 输出信号  数字：RS232/RS485
 模拟：（0～+5.00）V，负载能力≤3mA
  19 通讯接口 数字：RS232/RS485  波特率：4800/9600/19200Bps
协议丛机   设备号可选范围：0～15
  20 供电电源 ±15V（±5%）
（+15V，150mA；-15V,200mA) 21 重量  0.9