气体质量流量控制器（流量计）_ 参数_指标_优点_优势

参数指标

S49 33M/MT型质量流量控制器(流量计)技术指标

编号	项目	S49 33/MT
1	流量规格	(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min		(15,20,30) L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止位置	常闭
4	准确度	± 1.0% F.S	± 2.0% F.S
5	线性	±1.0 % F.S，±2.0 % F.S
6	重复精度	±0.2 %F.S
7	响应时间	≤8 s（T95）
8	工作压差范围	(50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa
9	耐压	3 MPa ﹑ 10 MPa
10	工作环境温度	5℃ ～ 45℃
11	材料	不锈钢316L
12	标准密封材料	Viton®﹑EPDM, 或其他
13	漏率	1×10^-8 Pa.m³/s
14	接头	Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其它
15	输入输出信号	0 V ～ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
16	电源	+15 V 50 mA -15V 200 mA
17	外形尺寸 mm	134×134×38
18	重量 kg	1.2

S49 33/MT安装尺寸图