线宽检测仪参数指标

精度

①测量精度

±1μm

②分辨率

0.4～2.7μm/pixel

③总放大倍率

70X～450X

④光学放大倍率

1.4～9×连续可调

对象

①板宽

≤760mm

②视野范围

0.53mm×0.4mm～3.3mm×2.5mm

③线宽

20-1200μm

仪器外形尺寸（不含电脑）

XK25

960mmx780mmx1280mm

重量（不含电脑）

145Kg