项目 | 规格 |
外形 | 1700mmx2050mmx1600mm |
镜头 | 0.7~4.5自动变倍镜头 |
光源 | LED环形光 |
测量尺寸范围 | ≦600mm×650mm |
导航定位 | 具备ccd导航快速定位功能 |
线宽测量精度 | 1x=3um 2x=2um 3x=1um 4x=1um 注:通常使用3x倍率,以标准片认证精度 |
线宽测量范围 | 最小 20um - 最大 1200um |
测量窗口视野范围 | 0.7x=3.5mm 1x=3.2mm 2x=2.2mm 3x=1.5mm 4x=1.0mm 注:视野偏差范围±5%以内 |
运行模式 | 可编程保存后调取程序进行批量自动运行测量 |
测量寻边方式 | 具备手动和自动寻边功能 |
数据统计功能 | 具备EXCEL数据存档及统计功能,及自动导出数据 |
操作温度 | 20℃~40℃ |
相对湿度 | 40%~70% |
电源 | 3P/AC380+N+PE/50Hz/5kW |
重量 | 约1750kg(不含电脑) |